机型特性
适用不同宽度石墨舟,一机多用,切换方便快捷,性价比高;
固晶速度可达18K/H(周期200ms),满足高效生产的需求;
自动上下料方式,料盒可放多个石墨舟,大大降低人工成本;
顶针机构可实现单顶针和3顶针互换,满足不同尺寸晶片需求;
工作台和晶片滑台均为高精度光栅尺直线电机平台,高速高精度定位,寿命长,免维护;
具备晶片上墨点和边缘识别功能,墨点、边缘片、空位自动跳过;
机器采用界面上全数字化操作,稳定性好,抗干扰强,避免物理按钮易损坏的缺点;
机械结构、软件以及控制电路全部自主开发,掌握固晶核心技术。
规格参数
生产周期:200ms(取决于晶片尺寸及支架)
固晶位置精度:±1.5mil(±0.038mm)
芯片旋转:±3°
固晶台工作宽度:60mm~120mm
固晶台工作长度:150mm~230mm
滑台分辨率:0.5μm
滑台重复精度:±2.5μm
芯片尺寸:5mil×5mil~200mil×200mil (0.127mm×0.127mm~5.08mm×5.08mm)
最大晶环尺寸:8''(230mm)外径
最大晶片面积:7.1''(180mm)扩张后
图像识别:256级灰度
分辨率:596×448像素
识别精度:±0.025mil@50mil观测范围
固晶头:真空表面吸取式
固晶臂:90°
固晶力度:20~200g可调
点胶头:表面蘸取式
点胶温度:温室~100℃
电源:单相220V AC±10%、50HZ,可靠接地
消耗功率:700W
气源:0.3~0.7Mpa
外形尺寸:1270mm(宽)×1320mm(深)×1780mm(高)
净重:600kg